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Ultrahochauflösendes Feld-Emissions-Scan-Elektronenmikroskop der Serie SU8600
Mit der raschen Entwicklung von Datenerfassungs- und Datenverarbeitungstechnologien ist das Elektronenmikroskop in eine Ära eingetreten, in der nicht
Produktdetails
Ultrahochauflösendes Feld-Emissions-Scan-Elektronenmikroskop der Serie SU8600
Mit der raschen Entwicklung von Datenerfassungs- und Datenverarbeitungstechnologien ist das Elektronenmikroskop in eine Ära eingetreten, in der nicht nur die Qualität der Daten, sondern auch ihre Erfassungsprozesse geschätzt werden. Die SU8600-Serie basiert auf der hochwertigen Bildqualität der Regulus 8200-Serie, der großen Strahlenanalyse und der Kaltfeldbildgebungstechnologie für einen langfristig stabilen Betrieb, während die hohe Durchsatzleistung und die automatisierte Datenerfassung erheblich verbessert werden.
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- Gerätefotos enthalten Optionen.
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Eigenschaften
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Spezifikationen
Eigenschaften
Eigenschaften
Ultrahochauflösende Bildgebung
Die Elektronenquelle mit hoher Helligkeit von Hitachi sorgt dafür, dass auch bei ultraniedriger Landungsspannung ultrahochauflösende Bilder erzielt werden können.
Beispiele von Zeolith vom Typ RHO unter Spannungsbedingungen von 0,8 kV beobachtet. Die linke Abbildung ist die Form des Teilchens als Ganzes, die rechte Abbildung ist das vergrößerte Bild, die feine Stufenstruktur der Teilchenoberfläche ist klar sichtbar. Niederspannungsbeobachtungen sind effektiver zur Reduzierung von Elektronenstrahlschäden und zur Erfassung von Oberflächenforminformationen.
Probe zur Verfügung gestellt von: Japanisches Institut für Industrietechnologie
Niedrige Beschleunigung Spannung Rückstreuung Bild mit hoher Auskleidung
3D NAND Schnittbeobachtung;
Unter niedrigen Beschleunigungsspannungsbedingungen kann die Rückstreuung des elektronischen Signals einen deutlichen Unterschied zwischen der Schicht von Siliziumoxid und der Schicht von Siliziumnitrid zeigen.
3D-NAND-Schnittbeobachtung (Beschleunigungsspannung: 1,5 kV)
Schnelles BSE-Bild: Neuer Blinkenkörper-Elektronendetektor (OCD)*
Dank des neuen OCD-Detektors kann ein klares Bild der tiefen Struktur mit Fin-FET beobachtet werden, auch wenn der Scan weniger als eine Sekunde dauert.
Interne Strukturbeobachtung von 5-Nano-Prozess-SRAM (Beschleunigungsspannung: 30kV, Scanzeit < 1 Sekunde)
Erweiterte Automatisierungsfunktionen*
Mit EM Flow Creator können Kunden automatisierte Workflows zur kontinuierlichen Bilderfassung erstellen. EM Flow Creator definiert verschiedene SEM-Funktionen als grafische Module, wie zum Beispiel die Einstellung der Vergrößerung, die Bewegung der Probenposition, die Einstellung der Brennweite und des hellen und dunklen Kontrasts. Der Benutzer kann diese Module in logischer Reihenfolge zu einem Arbeitsprogramm zusammensetzen, indem er sie einfach mit der Maus zieht. Nach Debugging und Bestätigung erhält das Programm bei jedem Anruf automatisch qualitativ hochwertige, reproduzierbare Bilddaten.
Flexible Benutzeroberfläche
Native Unterstützung von Doppelbildschirmen für einen flexiblen und effizienten Betriebsraum. 6 Kanäle gleichzeitig anzeigen und speichern, um eine schnelle Beobachtung und Erfassung von mehreren Signalen zu ermöglichen.
Das 1-, 2-, 4- oder 6-Kanäle-Signal kann gleichzeitig auf demselben Monitor angezeigt werden, der schaltbar ist, einschließlich der SEM-Detektoren sowie der Probenkamera und der Navigationskamera. Der Arbeitsraum kann durch die Verwendung von zwei Monitoren erweitert werden und die Benutzeroberfläche kann angepasst werden, um die Produktivität zu erhöhen.
Spezifikationen
| Modell | Serie SU8600 | |
|---|---|---|
| Elektronische optische Systeme | Sekundäre elektronische Auflösung | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| Vergrößern | 20 to 2,000,000 x | |
| Elektronische Waffe | Kaltfeldemittierende Elektronenquelle, unterstützt flexible Blinkenfunktion, enthält Anodenbacksystem. | |
| Beschleunigte Spannung | 0.5 to 30 kV | |
| Landungsspannung | 0.01 to 20 kV | |
| Detektoren | (teilweise optional) | Obere Detektoren (UD) |
| UD ExB-Energiefilter mit SE/BSE-Signalmischfunktion | ||
| Unterdetektor (LD) | ||
| Spitzendetektor (TD) | ||
| TD-Energiefilter | ||
| Elektronendetektor für Rückstreuung im Spiegel (IMD) | ||
| Halbleiter-Elektronendetektor mit Rückstreuung (PD-BSED) | ||
| Neuer blinkender Elektronendetektor mit Rückstreuung (OCD) | ||
| Kathodenfluorescenzdetektoren (CLD) | ||
| Übertragungsdetektor (STEM Detector) | ||
| Zubehör | (teilweise optional) | Navigationskamera, Probenkamera, Röntgenenergiespektrometer (EDS), Rückstreuungselektronendiffraktionsdetektor (EBSD) |
| Software | (teilweise optional) | EM Flow Creator, HD Capture (bis zu 40.960 x 30.720 Pixel) |
| Probentesch | Motorantriebswelle | 5-Achs-Motorantrieb (X/Y/R/Z/T) |
| Motorantriebswelle | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| Probenraum | Probengröße | Maximaler Durchmesser: 150 mm |
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- Im Bremsungsmodus
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