
Setra GCT-225 Serie Ultrahochreine Druckgeber sind speziell für Ultrahochreine Gasfördersysteme in Halbleiterprozessen und Steueranwendungen entwickelt, die ultrasaubere Arbeit, hohen Durchsatz und extrem hohe Langzeitstabilität erfordern.
Die GCT-225-Serie verfügt über eine drehbare Außenhülle, mit der der Benutzer das 12-Kreis-Potentiometer für die Feinstellung von Null- und Messbereichen bequem einstellen kann. Standarddrehende Außengewinde-/Innengewinde-Enddichtungsdruckschnittstellen erfüllen die Anforderungen der Halbleiterindustrie. Darüber hinaus werden in dieser Serie eine Vielzahl anderer Schnittstellentypen ausgewählt.
Die GCT-225-Serie ist in drei Ausgangstypen von 5 VDC, 10 VDC oder 4-20 mA erhältlich und kann mit einem 6-Fuß-Mehrkernkabel und einer Klemme, einem D-Sub- oder einem M12x1-Anschluss elektrisch angeschlossen werden.
Die Druckgeber der Serie GCT-225 verfügen über eine von Setra patentierte Variable Capacitor-Technologie mit einer Membran aus Edelstahl VIM/VAR 316L und einer Isolierelektrodenplatte. Isolierelektrodenplatten und Sensoren bilden lokal einen variablen Kondensator. Wenn der Gasdruck steigt, wird die Membran leicht rund, wodurch die Kapazität verringert wird. Der Sensor erkennt die Kapazitätsänderungen und wandelt sie in ein hochpräzises lineares Gleichstromsignal um. Setras einzigartige, maßgeschneiderte integrierte Schaltung wird nach dem patentierten Ladungsausgleichprinzip hergestellt und ist nahezu frei von EMI/RFI-Störungen.
Nach Fertigung und MontageSetra Ultrahochreine Drucksender werden vor dem Versand mit deionisiertem Wasser gespült, mit hochreinem heißem Stickstoff gefeugt, getrocknet, doppelschichtig verpackt, mit Stickstoff gefüllt und versiegelt.
Hinweis:Setras Qualitätsstandards sind nach ANSI-Z540 festgelegt. Die Kalibrierung dieses Produktes ist NIST-Verfolgbarkeit, US-Patentnummer.
• Niedrige Leckage
• VCR-Anschlüsse
• Kleine, leicht zu reinigen Kammern
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
Eigenschaften
· 316 L VIM/VAR Edelstahl
Oberflächenpolierung 7 Ra
· VCR-Anschlüsse
Ammoniak-Leckageexperiment auf 1×10-9 ATM.CC/sec-Ebene
· Robust und fehlerfrei installiert
4-20mA-Ausgangstyp zertifiziert als nicht brennbar für potenziell gefährliche Gebiete
Erfüllt CE- und RoHS-Anforderungen


