• Hohe Genauigkeit ±1,0% Einstellpunkt
  Die Linearität dieses Massenflussreglers wird durch eine polynomische Approximationskurve kompensiert und ermöglicht eine hohe Genauigkeit im Bereich der Durchflussregelung. Um die tatsächliche Gasgenauigkeit zu verbessern, werden die Kalibrierungsdaten für verschiedene Prozessgase durch das Standard-Gasmesssystem von HORIBA STEC gemessen.
• Hochgeschwindigkeits-Reaktion
  Das „variable PID-System“ ermöglicht eine Antwort von 1 Sekunde zwischen zwei beliebigen Einstellpunkten. Die variable PID ändert sich je nach Durchflusspunkteinstellung. Optimieren Sie den PID-Koeffizienten bei vollständigen Durchfluss- und Gasveränderungen.
• Mehrgaslösungen
  Die Konfigurationssoftware ermöglicht eine schnelle und einfache Änderung der Spezifikationen. Ein wichtiges Merkmal ist, dass Änderungen vorgenommen werden können, ohne dass der Massenstromregler von der Gassteuerung oder der Rohrleitung entfernt werden muss. Reduziert die Anzahl der erforderlichen Ersatz-Massenflussregler und spart Zeit und Kosten.

Der Massenflussregler SEC-Z500X eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen sowie für die Halbleiterherstellung.