Die Olympus Halbleiter-/FPD-Prüfmikroskope MX63 und MX63L sind für die qualitativ hochwertige Prüfung von Wafers bis zu 300 mm, Flachbildschirmen, Leiterplatten und anderen großen Proben optimiert. Durch ihr modulares Design können Sie die Komponenten auswählen, die das System an Ihre Anwendung anpassen müssen. Olympus Halbleiter/FPD Inspektionsmikroskopie In Kombination mit der Olympus Stream Image Analyse Software können Sie Ihren gesamten Arbeitsablauf von der Beobachtung bis zur Erstellung von Berichten vereinfachen.

Frontier-Analysewerkzeuge

Die vielseitigen Beobachtungsmöglichkeiten der MX63-Serie bieten ein klares und klares Bild, so dass der Benutzer Mängel in der Probe zuverlässig erkennen kann. Neue Beleuchtungstechnologien und Bilderfassungsoptionen in der Olympus Stream Image Analyse Software bieten den Anwendern mehr Möglichkeiten, ihre Proben zu bewerten und ihre Ergebnisse zu dokumentieren.

Unsichtbar wird sichtbar: Mischung von Beobachtung und Erwerb

Hybride Beobachtungstechniken erzeugen einzigartige Beobachtungsbilder, indem sie dunkle Felder mit einer anderen Beobachtungsmethode wie Hellfeld, Fluoreszenz oder Polarisation kombinieren. Gemischte Beobachtung ermöglicht es Benutzern, Mängel zu sehen, die mit einem herkömmlichen Mikroskop schwer zu sehen sind. Runde LED-Beleuchtungen für die Beobachtung von Dunkelfeldern verfügen über eine orientierte Dunkelfeldfunktion, bei der zu einem bestimmten Zeitpunkt nur ein Quadrant beleuchtet wird. Dies reduziert den Halo der Probe und hilft, die Oberflächenstruktur der Probe zu visualisieren.

Struktur von Halbleiterchips

Photogravierende Rückstände auf Halbleiterchips

Einfaches Erstellen von Panoramabildern: Instant MIa

Mit Multiple Image Alignment (MIA) können Benutzer Bilder schnell und einfach zusammenfügen, indem sie die KY-Knopfe in einer manuellen Phase bewegen, ohne dass eine elektrische Plattform erforderlich ist. Die Olympus Stream-Software verwendet die Mustererkennung, um Panoramabilder zu erzeugen, die den Benutzern eine breitere Sicht bieten.

Erstellen aller Fokusbilder: EFI

Die Funktion Extended Focus Imaging (EFI) im Olympus Stream erfasst Bilder von Proben, die sich über die Fokustiefe des Ziels hinaus erstrecken und sie zusammenlagern, um ein vollständig fokussiertes Bild zu erstellen. EFI kann manuell oder elektrisch mit der Z-Achse ausgeführt werden und erstellt ein Höhendiagramm für eine einfache Strukturvisualisierung. Sie können auch EFI-Bilder offline auf dem Streaming-Desktop erstellen.

Erfassen Sie helle und dunkle Zonen mit HDR

Mit der fortschrittlichen Bildverarbeitung wird der hohe Dynamikbereich (HDR) die Helligkeitsunterschiede im Bild angepasst, um die Blendung zu reduzieren. HDR verbessert die visuelle Qualität digitaler Bilder und hilft dabei, professionelle Berichte zu erstellen.

Von der grundlegenden Messung bis zur Analyse

Die Messung ist von entscheidender Bedeutung für die Qualitäts- und Prozesskontrolle und -prüfung. In diesem Sinne enthält sogar das Olympus Stream-Paket für den Einstieg ein komplettes interaktives Messfunktionsmenü, in dem alle Messergebnisse in einer Bilddatei für die weitere Dokumentation gespeichert werden. Darüber hinaus bietet die Olympus Stream Material Solutions eine intuitive, workflow-orientierte Schnittstelle für komplexe Bildanalysen. Mit einem Knopfklick können Bildanalyseaufgaben schnell und präzise ausgeführt werden. Durch eine deutliche Reduzierung der Bearbeitungszeit für wiederholte Aufgaben kann sich der Bediener auf die Prüfung an der Hand konzentrieren.

Berichterstellung

Die Erstellung von Berichten dauert in der Regel länger als die Erfassung von Bildern und Messungen. Die Olympus Stream-Software bietet eine intuitive Berichterstellung, um intelligente und komplexe Berichte auf der Grundlage von vordefinierten Vorlagen wiederholt zu generieren. Die Bearbeitung ist einfach und der Bericht kann in Microsoft Word oder PowerPoint-Software exportiert werden. Darüber hinaus ermöglicht die Berichtsfunktion der Olympus Stream Software die digitale Skalierung und Vergrößerung der Bilderfassung. Die Berichtsdateien haben eine angemessene Größe, um den Datenaustausch per E-Mail zu erleichtern.

Optionen für unabhängige Kameras

Mit den Mikroskopkameras DP22 oder DP27 ist die MX63-Serie ein fortschrittliches eigenständiges System. Die Kamera kann über eine kompakte Box gesteuert werden, die nur einen geringeren Platzbedarf erfordert, um dem Benutzer zu helfen, den Laborraum optimal zu nutzen und gleichzeitig klare Bilder aufzunehmen und grundlegende Messungen durchzuführen.

Unterstützung für Cleanroom Conformity

Die MX63-Serie ist für die Arbeit in Reinräumen konzipiert und hilft, das Risiko von Verschmutzung oder Beschädigung der Probe zu verringern. Das System hat ein ergonomisches Design, das dem Benutzer auch bei langer Nutzung hilft. Die MX63-Serie erfüllt internationale Spezifikationen und Normen, einschließlich Halb S2/S8, CE und UL.

Optionale Chiplader-Integration - AL120 System*

Optionale Chiplader können an die MX63-Serie angeschlossen werden, um Silizium- und Compound-Halbleiterchips von Box-Banden in die Mikroskopstufe ohne Pinzen oder Stäbe zu übertragen. Ausgezeichnete Leistung und Zuverlässigkeit ermöglichen effektive Front- und Rückenprüfungen, während der Lader zur Steigerung der Produktivität des Labors beiträgt.

MX63 in Kombination mit Al120 Chip Loader (200 mm Version)*E120 ist in EMEA nicht verfügbar.

Schnelle Reinigungsprüfung

Die MX63-Serie erfüllt die Staubraumchipprüfung. Alle motorisierten Komponenten sind abgeschirmt und werden mit antistatischer Behandlung auf Komponenten wie Mikroskoprahmen, Röhren, Atemhüllen und mehr angewendet. Der motorisierte Nasenflügel dreht sich schneller als der manuelle Nasenflügel und reduziert die Inspektionszeit, während die Hände des Bedieners unterhalb des Chips bleiben und mögliche Verschmutzungen reduziert werden.

Systemgestaltung für effektive Beobachtungen

Dank der Kombination aus integrierter Kupplung und XY-Knopf ist die Klasse XY in der Lage, die Bewegung in zwei Phasen gleichzeitig zu durchführen. Diese Phase hilft bei der Beobachtungseffizienz, auch für große Proben wie 300 mm Chips.Die breite Palette der geneigten Beobachtungsröhre ermöglicht es dem Bediener, sich bequem unter dem Mikroskop zu setzen.

Akzeptiert alle Chipgrößen

Das System ist mit verschiedenen Arten von 150 - 200 mm und 200 - 300 mm Wafer Halter und Glasplatten. Wenn sich die Größe des Chips in der Produktionslinie ändert, kann der Rahmen des Mikroskops zu geringeren Kosten geändert werden. Mit der MX63-Serie können verschiedene Stufen verwendet werden, um Prüflinien auf 75 mm-, 100 mm-, 125 mm- und 150 mm-Chips aufzunehmen.

Intuitive Mikroskopsteuerung: bequem und einfach zu bedienen

Die Einstellung des Mikroskops ist einfach zu bedienen und erleichtert die Anpassung und Wiedergabe der Systemeinstellungen.

Schnelle Fokussierung: Fokussierungshilfe

Das Einfügen einer Fokussierungshilfe in den Lichtweg ermöglicht eine einfache und präzise Fokussierung auf kontrastarme Proben, wie z. B. Nacktplätze.

Einfache Wiederherstellung der Mikroskopinstellungen: Codierbare Hardware

Die Codierungsfunktion kombiniert die Hardwareeinstellungen der MX63-Serie mit der Olympus Stream-Bildanalyse-Software. Die Beobachtungsmethode, die Beleuchtungsintensität und die Vergrößerungsrate werden von der Software automatisch aufgezeichnet und in den entsprechenden Bildern gespeichert. Da die Einstellungen leicht reproduziert werden können, kann jeder Bediener die gleiche Qualitätskontrolle mit minimaler Schulung durchführen.

Ergonomische Steuerung für schnellere und komfortablere Bedienung

Die Steuereinrichtung, die das Ziel ändert und den Blick einstellt, befindet sich unter dem Mikroskop, so dass der Benutzer während der Verwendung keinen Fokusknopf lösen oder seinen Kopf von der Brille wegbewegen muss.

Schnellere Beobachtung durch Lichtintensitätsmanager und automatische Apertursteuerung

Unter einem normalen Mikroskop muss jeder Beobachter die Lichtintensität und die Blende anpassen. Anwender der MX63-Serie können Lichtintensität und Öffnungsbedingungen für verschiedene Vergrößerungs- und Beobachtungsmethoden einstellen. Diese Einstellungen können leicht zurückgerufen werden und helfen den Benutzern, Zeit zu sparen und eine hervorragende Bildqualität zu erhalten.

Lichtintensitätsmanager

Regelmäßige Lichtintensität	Wenn Sie die Vergrößerungsmethode oder die Beobachtungsmethode ändern, wird das Bild zu hell oder schwach.
Lichtintensitätsmanager	Beim Ändern des Vergrößerungs- oder Beobachtungswertes wird die Lichtintensität automatisch angepasst, um ein hervorragendes Bild zu erzeugen.

Automatische Durchmesserregelung

Optische und digitale Bildqualitätsprüfung

Olympus' Geschichte der Entwicklung von hochwertigen Optiken und fortschrittlichen digitalen Bildgebungskapazitäten hat sich für eine optische Qualität und ein Mikroskop mit ausgezeichneter Messgenauigkeit bewiesen.

Ausgezeichnete optische Leistung: Vorwellen-Differenzsteuerung

Die optischen Eigenschaften des Objektivs beeinflussen direkt die Qualität des beobachteten Bildes und die Ergebnisse der Analyse. Das Olympus UIS2-Ziel mit hoher Vergrößerung wurde so konzipiert, dass die Abweichung des Vorwellenbildes minimiert wird und eine zuverlässige optische Leistung bietet.

Gute Welle vor schlechter Welle (UIS2-Ziel)

Konsistente Farbtemperatur: Hochintensive weiße LED-Beleuchtung

Die MX63-Serie verfügt über weiße LED-Lichtquellen mit hoher Intensität für reflektierende und durchlässige Beleuchtung. LEDs halten eine konsistente Farbtemperatur, unabhängig von der Intensität, um eine zuverlässige Bildqualität und Farbwiedergabe zu gewährleisten. LED-Systeme bieten ein effizientes, langlebiges Beleuchtungsmaterial für Materialwissenschaftliche Anwendungen.

Genaue Messung: Automatische Kalibrierung

Ähnlich wie ein digitales Mikroskop ist eine automatische Kalibrierung bei der Verwendung der Olympus Stream-Software verfügbar. Die automatische Kalibrierung hilft, menschliche Variabilitäten während des Kalibrierungsprozesses zu beseitigen, was zu zuverlässigeren Messungen führt. Automatische Kalibrierung Der Algorithmus berechnet automatisch die korrekte Kalibrierung aus dem Durchschnitt mehrerer Messpunkte. Dies minimiert die Unterschiede, die von verschiedenen Betreibern eingeführt werden, und gewährleistet eine konsistente Genauigkeit, die die Zuverlässigkeit der regelmäßigen Überprüfung erhöht.

Vollständig klare Bilder: Bildschattenkorriktur

Die Olympus Stream-Software ist gekennzeichnet durch eine Schattenkorriktur, um den Schatten an den Bildecken anzupassen. Bei Verwendung mit Intensitätsschwelleneinstellungen bietet die Schattenkorriktur eine genauere Analyse.

Halbleiter-Chip (Binary-Bild)

Vollständig anpassbar

Die MX63-Serie wurde entwickelt, um den Kunden die Möglichkeit zu geben, eine Vielzahl von optischen Komponenten zu wählen, die sich an die individuellen Prüfungs- und Anwendungsanforderungen anpassen. Das System kann alle Beobachtungsmethoden nutzen. Die Benutzer können auch aus einer Vielzahl von Olympus Stream-Bildanalyse-Paketen wählen, um die Bedürfnisse der individuellen Bilderfassung und -analyse zu erfüllen.

Zwei Systeme für unterschiedliche Probengrößen

Das MX63-System kann Chips von bis zu 200 mm aufnehmen, während das MX63L-System Chips von bis zu 300 mm mit dem gleichen kleinen Fußabdruck wie das MX63-System verarbeiten kann. Das modulare Design ermöglicht es Ihnen, das Mikroskop auf Ihre spezifischen Anforderungen anzupassen.

Infrarot-Kompatibilität

Infrarot-Objektive können mit Infrarot-Objektiven durchgeführt werden, was es dem Bediener ermöglicht, das Innere eines IC-Chips zu erkennen, der verpackt ist und auf einer PCB installiert ist, ohne Schäden und unter Verwendung der Eigenschaften von Silizium, das Infrarot durchlässt. 5x bis 100x Infrarotziele können durch nahe Infrarot sichtbare Wellenlängen Farbdifferenzkorrigiert werden.

Die MX63-Serie wird in den Anwendungsbereichen der Reflexionsmikroskope eingesetzt. Diese Anwendungen sind ein Beispiel für einige Methoden, die systematisch für industrielle Inspektionen verwendet werden.

Infrarot (IR) wird verwendet, um andere Mängel an IC-Chips und Siliziumgeräten auf Glas zu finden.

Polarisiertes Licht wird verwendet, um die Textur der Substanz und den Zustand der Kristalle zu offenbaren. Es eignet sich für die Prüfung von Chips und LCD-Strukturen.

Differenzieller Interferenzkontrast (DIC) wird verwendet, um die Differenzen in der Ansicht mit kleinen Proben zu unterstützen. Es ist ideal für universitäre Inspektionen Proben mit hohen Unterschieden wie Minute Magnetkopfe, Festplattenmedien und polierte Chips.

Dunkle Felder werden verwendet, um kleine Kratzer oder Mängel auf einer Probe zu erkennen oder eine Probe mit Spiegeln wie Chips zu erkennen. Gemischte Beleuchtung ermöglicht es Benutzern, Muster und Farben zu sehen.

Fluoreszenz wird in Proben verwendet, die Licht emittieren, wenn sie mit speziell entwickelten Filtern beleuchtet werden. Es wird verwendet, um Verunreinigungen und photoresistente Rückstände zu erkennen. Gemischte Beleuchtung ermöglicht die Beobachtung von optischen Resistenzresten und IC-Mustern.

Diese Beobachtungstechnik eignet sich für transparente Proben wie LCD-, Kunststoff- und Glasmaterialien. Gemischte Beleuchtung ermöglicht die Beobachtung von Filterfarben und Schaltungsmustern.

Konfigurationsparameter der Olympus Halbleiter/FPD Inspektionsmikroskoplösung MX63 / MX63L

		MX63	MX63L
Optische Systeme		Optisches System UIS2 (unbegrenzte Fernkorrektur)
Anzeigen Mikro Spiegel Maschine Rack	Reflexionsbeleuchtung	LED-Lampe, 12V100W Halogenlampe, 100W Quecksilberlampe Beleuchtung: Lichtfeld, Dunkelfeld Integrierter elektrischer Apender Beobachtungsmethoden: Hellfeld, Dunkelfeld, Differenzialinterferenz (DIC), einfache Polarisation, Fluoreszenz, Infrarot
	Durchlässige Lichtbeleuchtung	Lichtdurchlässige Beleuchtung: MX-TILLA oder MX-TILLB - MX-TILLA::Apendienz NA0.5 - MX-TILLB: Apendienz NA0.6 Lichtquelle: LG-PS2 (Halogenlampe 12/V100 W) Beobachtungsart: Lichtfeld, einfache Polarisation
	Fokus	Reichweite: 32 mm Feinstellgang pro Umdrehung: 100 μm Zui Kleinskala: 1 μm Ausgestattet mit Obergrenzbestimmer für die Drehmomenteinstellung des groben Griffs
	Maximale Belastung (einschließlich Tischhalter)	8 kg	15 kg
Sicht Tscha Zylinder	Breites Sichtfeld (FN 22 mm)	Genau wie die dritte: U-ETR4 Dreifaches Auge: U-TTR-2 U-TR30-2, U-TR30IR (Infrarotbeobachtung) Rückseite: U-BI30-2 Umkehrbare und geneigte Augen: U-TBI30
	Ultrabreite Sicht （FN 26.5 mm）	Vertikal, geneigt: MX-SWETTR Spektralverhältnis 100%: 0 oder 0: 100%) U-SWETTR Spektralverhältnis 100%: 0 oder 20%: 80%) Zurück: U-SWTR-3
Objektivumsetzer		6-Loch-Stromwandler mit DIC-Steckplatz: U-D6REMC Lichtfeld-Fünfloch-Wandler mit DIC-Autozentrierungsschlitz: U-P5REMC Hell Dark Field Sechs Loch Elektroumrichter mit DIC-Steckplatz: U-D6BDREMC Hell Dark Field Fünfloch-Wandler mit DIC-Steckplatz: U-D5BDREMC Hellfeld-Dunkelfeld-Fünfloch-Wandler mit DIC-Autozentrierungsschlitz: U-P5BDREMC
Laststelle		Integrierter Kupplungsantrieb, koaxialer rechter Griff: MX-SIC8R Reichweite: 210 x 210 mm Lichtdurchlässigkeitsbereich: 189 x 189 mm Integrierter Kupplungsantrieb, koaxialer rechter Griff: MX-SIC6R2 Reichweite: 158 x 158 mm (mit reflektiertem Licht)	Integrierter Kupplungsantrieb, koaxialer rechter Griff: MX-SIC1412R2 Reichweite: 356 x 305 mm Lichtdurchlässigkeitsbereich: 356 x 284 mm
Gewicht		Ungefähr: 35,6 kg (Mikroskop Rack 26 kg)	Ungefähr: 44 kg (Mikroskop-Rack 28,5 kg)

Hinweis: Der Inhalt der Parametertabelle ist die Einführung der wichtigsten Parameter, die praktischenbasierendBedürfnisse konfiguriert werden.