- Produktbeschreibung
Helium-Ionen-Chromatogrammeter sind für die Detektion von Spuren von Verunreinigungen in Elektronikgasen geeignet, mit einer kleinen Detektionskonzentration von bis zu 5 ppb. Das Gerät ist mit einem hochempfindlichen Helium-Ionisierungs-Detektor ausgestattet, der die Zentralschnitttechnologie von Huawei verwendet, und die Probenventile verfügen über einen Blassschutzluftweg; Die gesamte Maschine ist mit mehreren Säulen ausgestattet und ist mit einem automatischen Eingangsdruckkorrektursystem ausgestattet, um die Eingangsmenge von Proben aus verschiedenen Grundgasen zu gewährleisten. Die Produkte erhielten die Auszeichnung Shanghai High-Tech-Erfolge Umwandlung A-Klasse-Projekt.
Kryptonalyse mit Helium-Ionen-ChromatometerReferenz: GB/T 5829-2006 Krypton
| Projekte | Indikatoren | |||
| Hochreines Krypton | Reines Krypton | |||
| Erstklassige Produkte | Qualifizierte Produkte | |||
| Krypton (Kr) (Volumenfraktionen)/10-2 | ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| Stickstoff (N2) (Volumenanteil) (N2)/10-6 | ≤ | 2 | 8 | 20 |
| Sauerstoff (O2) + Argon (Ar) (Volumenfraktionen) / 10-6 | ≤ | 1.5 | 5 | 5 |
| Wasserstoff (H2) (Volumenfraktionen)/10-6 | ≤ | 0.5 | 1 | 2 |
| Kohlenmonoxid (CO) (Volumenfraktionen)/10-6 | ≤ | 0.3 | 0.4 | 1 |
| Kohlendioxid (CO2) / 10-6 | ≤ | 0.4 | 0.8 | 1 |
| Methan (CH4) (Volumenfraktionen)/10-6 | ≤ | 0.3 | 0.8 | 1 |
| Feuchtigkeit (H2O) / 10-6 | ≤ | 2 | 3 | 5 |
| Xenon (Xe) (Volumenfraktionen)/10-6 | ≤ | 2 | 20 | 50 |
| Fluorid (CF4) (Volumenfraktionen)/10-6 | ≤ | 1 | 10 | 15 |
Der A-Kanal

B-Kanal

