Hochgeschwindigkeits- und Präzisionsgerät YSi-12

Eigenschaften:
Hohe Auflösung von XY bis 10 µm und Z bis 5 µm

～Unklarheit der Bestimmung vermeiden und eine hohe Präzision mit dem Messgerät erreichen～

Durchschnittlich bis zu 15 Sekunden pro Substrat mit einer Prüfgeschwindigkeit von L330 x W250mm (unter optimalen Bedingungen bei 3-Schichtbeleuchtung)

5 verschiedene Methoden zur optimalen Prüfung

3 Farben auf der oberen, mittleren und unteren Schicht plus 10 Bilderkennungen mit IR

Inspektionskamera mit 5 Megapixeln