In vielen ultrareinen Gasanwendungen, wie etwa in der Halbleiterindustrie, ist die verbleibende Feuchtigkeit im Gas für den ordnungsgemäßen Betrieb der Prozessbehandlung entscheidend. Die kontinuierliche Messung der Feuchtigkeit ist seit jeher schwierig und erfordert komplexe Feuchtigkeitsanalysatoren oder teure Analysetechniken. Mitsubishi-Messgeräte haben jedoch eine einfache, kostengünstige und ziemlich effektive Lösung für die Online-Messung von Taupunkten auf den Markt gebracht, die bis zu einer erstaunlich niedrigen Grenze von -120 °C (weniger als 1 ppb) entspricht.V). Pura Transmitter basiert auf der langjährigen Erfahrung bei der Herstellung und Validierung von Impedanztaupunktsensoren von MISSELL und kombiniert standardisierte industrielle Materialien und Fertigungsprozesse, um den ersten preiswerten Transmitter für die Halbleiterherstellungsindustrie und ultrareine Gasanwendungen zu entwickeln. Highlights Messung von -120°C Taupunkt (1 ppb)V) Stabile Messung und gute Wiederholbarkeit Hochintegrierte Probenahme Analoge und digitale Ausgänge Einfache Installation VCR-Prozessschnittstelle Kompaktes Design Anzeige/Alarm-Einheit optional
Technische Indikatoren
Sensoren Sensortyp Keramischer Feuchtigkeitssensor Messbereich -120 ~ -40°C Taupunkt (Prüfung bis -100 ~ -40°C) Genauigkeit ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (Schätzung) Auflösung 0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C Druck Mindestens 10-9 torr; Maximal 24 MPa Gasfluss 1 bis 5 Nl/min Elektrische Stromversorgung Normalerweise 24 V DC, mindestens 10 V bis maximal 28 V, maximaler Strom 25 mA Ausgabe Ausgang 4-20 mA, entsprechender Bereich mit spezieller Software einstellbar, Verstellbereich von 1 bis 80°C (Standard erhältlich) Maximale Last = 100 Ω + 50 Ω x (V-Stromversorgung -8) Ausgabefehlerstatus Die Standardausgangsfehlermeldung lautet wie folgt: 23 mA = Sensorfehler; 20 mA = oberste Grenze; 4 mA = oberhalb der Grenze Mechanische Eigenschaften Sensorhülle Edelstahl, 0,1-0,2 Ra µm galvanisch poliert Luftweg Anschlussanschluss Premium oder OEM: ¼' m VCR-Schnittstelle Pura Sensortyp: ½' m VCR-Schnittstelle Installationskonfiguration Premium- oder OEM-Modell: 120,00 mm lang, Enddichtung des Luftweganschlusses. Keine Rohrleitungslücke zu reservieren 2 M4 x 0,7, 7 mm tiefe Montagelöcher auf dem Boden, jeweils schräg gegenüber 20 x 20 mm Typ Pura Sensor: Für den von Benutzern bereitgestellten ½'-VCR-Anschluss Größe Premium oder OEM: 120 x 35 x 150 mm Pura Sensor 型: 132 x 35 mm Gewicht Premium oder OEM: 450g Pura Sensor 型: 180g Verpackung Pura: Doppelschichtverpackung, Inertgasfülldichtung Pura OEM oder Pura Sensor Typ: Einlagenverpackung Alle Optionen: unabhängige Verpackung Der Sensortyp verfügt über eine eigene Schutzhülle an der Sensorchipseite für den Transport und den Betrieb