Die Drucksensoren der Sapphire-Serie bestehen aus Sapphire-Monokristallinsolatorelementen, die keine Verzögerungen, Müdigkeiten und Verwirrungen auftreten; Sapphir hat sehr gute Elastizität und Isoliereigenschaften (unter 1000 ° C), ist nicht empfindlich gegen Temperaturänderungen und hat auch unter hohen Temperaturbedingungen gute Arbeitseigenschaften. Die strahlenbeständigen Eigenschaften von Sapphiren sind sehr stark; Silizium-Sapphir-Sensoren verwenden Silizium-Extension-Technologie, um eine Schicht Siliziumfilm auf der Sapphir-Folie zu wachsen, und dann den Lichtgravurprozess verwenden, um Silizium-Brückenwege zu erzeugen, um einen Spannungswiderstand mit einem schweren Dopingprozess zu erzeugen. Die Silizium-Brücke, die auf Sapphiren wächst, hat keine p-N-Sektionen und ist somit strahlungsunempfindlich und ermöglicht eine höhere Temperaturmessung ohne Einfluss der oberen Grenzen der Bindungstemperatur. Der schwere Dopingprozess reduziert die doppelte Verschmutzung der Siliziumsbrücke bei hohen Temperaturen. Daher kann Sapphir für eine Vielzahl von komplexen Arbeitsbedingungen und Umweltsituationen geeignet sein. Sensoren haben eine Membranstruktur, die sich aus einer Membranstruktur zusammensetzt: Die Produkte mit einer Membranstruktur bestehen aus einer Titanlegierung-Messmembran und einer Empfangsmembran. Die Empfangsfilm ist eine Sapphirfilm, die auf einer Titanlegierungsfilm mit einer hohen Temperatur geschweißt wird. Die Messfolie und die Empfangsfilm werden mit einer metallischen harten Verbindung verbunden, die durch Schmelze oder Laserschweißen verbunden ist. Der gemessene Druck wird auf die empfangende Membran übertragen. Unter der Wirkung des Drucks erzeugt die Titanlegierung eine Veränderung, die durch das Silizium-Sapphir-empfindliche Element wahrgenommen wird, ändert sich die Brückenausgang, und die Größe der Veränderung ist proportional zum gemessenen Druck. Die Brücke-Schaltung konvertiert das Ungleichgewichtssignal der Brücke in den Ausgang des Spannungssignals.

Breiter Temperaturmessbereich

• Kleine Temperaturfehler

Hohe Präzision, hohe Stabilität

◆ Leichtes Gewicht und hohes Preis-Leistungsverhältnis