Der Steueralgorithmus ermöglicht eine stabile Abflussregelung durch die Steuerung des Durchflussverhältnisses und steuert den Aufflussdruck des FS-3000 mit der HORIBA STEC-Steueroptimierungstechnologie. Darüber hinaus ermöglichen die Steueralgorithmen eine schnelle Reaktion auf die Ableitung, auch wenn sich das Ableitungsverhältnis ändert.

• Verbesserte Skalierbarkeit und Wartungsleistung. Der FS-3000 kann bis zu 15 Kanäle durch Hochgeschwindigkeitssignalverarbeitung trennen. Sollte der MFC fehlerhaft sein, müssen Sie den fehlerhaften Gerät einfach ersetzen.

• Die FS-3000 unterstützt eine Vielzahl von Gasen, einschließlich Mischgase. Darüber hinaus unterstützt der FS-3000 auch Benutzerschnittstellen wie RS-485 und DeviceNet.