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Präzisionshalbleiterreinigungswerkstatt mit staubfreiem Ofen
Staubfreie Backofen werden weit verbreitet für die Wärmebehandlung / Trocknung oder Alterung von Halbleiterwafern, Flüssigkristallen, Optikmodulen, Ka
Produktdetails

Produkteigenschaften

PRODUCT FEATURES


Staubfreier OfenWird weit verbreitet für die Wärmebehandlung / Trocknung oder Alterung von Halbleiterwafern, Flüssigkristallen, Optikmodulen, Kameramodulen und anderen Teilen mit hohen Anforderungen an das Backen sowie Geräten und eignet sich auch für die Installation in Reinraum-Umgebungen. Die Reinigungsstufe 100 wird hauptsächlich durch den Einsatz von Initial-Effect-Filtern, HEPA-Effizienzfiltern und Vor- und Rückschichtzirkulationssystemen erreicht, die eine stabile Leistung beim Heizen oder Kühlen bieten.

Der einfache und bequeme PID-Mikroprozessortemperaturbereich kann zwischen +15°C und 200°C eingestellt werden. Der staubfreie Ofen misst die tatsächliche Kammertemperatur mit einem PT100 Platin-Sensor und einem 0,3 µmHEPA-Effizienzfilter, der die Luft effektiv zirkuliert. Zudem können Durchflussmesser und NPT-Zubehör zur Einleitung von Inertgasen in die Kammer zum speziellen Prozessbacken ausgewählt werden.

Staubfreier OfenAußenmaterial ist die SPCC-Stahlplatte nach der Reinigung mit Soda Pulverfarbeitung; Das Innere ist korrosionsbeständiger Edelstahl. Ausgestattet mit vier verstellbaren perforierten Edelstahlträgern, ist der Halter und der Körper leicht abnehmbar und leicht zu reinigen.

Zu den Sicherheitsfunktionen gehören unabhängiger Übertemperatur-Schutz, Phasenfolgeschutz, Stromausfallschutz und mehrere Schutzmechanismen, um die Sicherheit der Verwendung zu gewährleisten. Die Tür kann erst geöffnet werden, nachdem das Backen auf die angegebene Temperatur gekühlt ist, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten.


Produkteigenschaften

Alle Schweiß- und Dichtstrukturen gewährleisten eine dauerhaft geringe Partikelzahl;

Innenraum aus Edelstahl (Typ 304), korrosionsbeständig;

Innere Galle mit voller Schweißbehandlung, Rohrleitung mit nahtlosem Schweißen von Edelstahlrohrteilen;

Die äußere Lackierung ist weiße Pulverbeschichtung, die einen dauerhaften Korrosionsschutz bietet;

Verwendung von Glasfaser-Isolierung, um eine niedrigere Oberflächentemperatur im Schrank zu gewährleisten;

Schwere Tür doppelt dichte Wärmedämmungsstruktur;

unabhängiger Übertemperatur-Schutz;

Jeder Ofen ist komplett montiert und durch unabhängige Tests der Anlage bestanden;

Hitzebeständiges HEPA-Luftfilterfördersystem;

Alle Zurückluft zur Zirkulationsfiltration, ohne Umweltreine Raumluft zu verwenden;

Wenn der Filter ersetzt werden muss, kann er durch das Luftdruckmesser verstanden werden;

Hochkapazitäts-Level-Luft-Recycling-Systeme und elektrische Heizungssysteme ermöglichen Leistungstemperaturen.


Optionale Komponenten

Temperaturlogger (Papier oder Papierlos)

Programmierbarer Controller, Ethernet und 485/232 Kommunikation

Staubfreie Kammerverpackung für Transport und Installation

4. Ebene

5. MES Kommunikation

Produktparameter

PRODUCT PARAMETERS


Temperaturbereich

Raumtemperatur.+20~200℃

Kontrollgenauigkeit

+/- 1.0

Genauigkeit der Temperaturverteilung

±2(auf 100),±3(bei 150)

Temperaturerhöhungszeit

ungefähr25 min (Raumtemperatur, →150)). Hoher Raum

Betriebsfunktionen

Optionale Festtemperatur oder Programmbetrieb

Innengröße (Höhe * Breite * Tiefe

910x620x620(mm)

Außengröße (Höhe * Breite * Tiefe

1750x855x1030(mm)

Arbeitsraumkapazität

350 Liter (12,3 Kubikfuß)

Filtereinrichtung

150mm HEPAHochtemperaturbeständige, effiziente Filter

Stromversorgung

3Foto380V


Maßgeschneiderter Service

CUSTOM SERVICEShenzhen Yihe Xing kann verschiedene Grade von Gleichmäßigkeit, Größe, Temperaturbereich bieten; Wenn Sie spezifische Anforderungen oder Spezifikationen haben, wenden Sie sich bitte an uns, um sicherzustellen, dass die Geräte entworfen, getestet und angepasst werden, um Ihren Anforderungen gerecht zu werden.

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