Überblick über die aktive Isolationsplattform

STACIS ® III ist ein flexibles aktives Isolationssystem. Das STACIS-aktive Isolationsplattformsystem verwendet fortschrittliche Trägheitsschwingungssensoren, fortschrittliche Steueralgorithmen und piezoelektrische Aktoren, um die Bodenbewegungen durch kontinuierliche Messung der Bodenaktivität zu filtern und den piezoelektrischen Aktor anschließend zu erweitern und zu verkleinern, um Vibrationen in Echtzeit zu eliminieren.

STACIS** wurde ursprünglich für die Isolierung von Präzisionsmikrografie-, Mess- und Prüfgeräten in fortgeschrittenen Halbleiteranlagen entwickelt und ist mittlerweile zu einer Branchenstandardlösung für empfindliche Geräte** in lauten Umgebungen geworden, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Halbleiteranlagen, Störungsanalyselabore, Nanotechnologieforschung, Nanofabrizierungsanlagen und Materialforschungszentren.

Das aktive Schwingungsisolierungsplattformsystem STACIS III umfasst einen neuen, verbesserten digitalen Controller DC-2020. Das neue** Steuersystem verfügt über einen neuen Dual-Core-Prozessor, Ethernet und einen seriellen USB-Anschluss auf der Front- und Rückseite und bietet dem Benutzer eine moderne und benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI). Mit hunderten erfolgreichen Installationsfällen weltweit ist STACIS das ideale Isolationssystem für vibrationsempfindliche Geräte**.

Vorteile des aktiven Isolationsplattformsystems STACIS III

STACIS ist hundertmal härter als Luftisoler und hat keine Einschränkungen von Luftisolierungssystemen. Es hat keine „weiche“ Federung und im Gegensatz zu einem aktiven Luftsystem kann STACIS unter Werkzeuge mit einem internen aktiven Luftisolierungssystem platziert werden, so dass beide Systeme im Zustand ** arbeiten.

Das einzigartige serielle Design und die proprietäre Hochleistungs-Pigeoelektrotechnik ermöglichen eine breite aktive Bandbreite von 0,6 Hz***150 Hz und eine aktive Schwingungsdämmung von 90% ab 2 Hz**.

Eigenschaften des aktiven Isolationsplattformsystems STACIS III

▪ ** Neuer verbesserter Digital Controller DC-2020 mit benutzerfreundlicher grafischer Benutzeroberfläche

▪ Die Isolation beginnt bei 0,6 Hz und erreicht bei 1 Hz eine Isolationsrate von 40%***70%

▪ Vertikale und horizontale Isolation von mehr als 90% bei Frequenzen von 2 Hz und höher

▪ Reduzierung der Anforderungen an die Infrastruktur und der Baukosten, so dass auch bei größeren äußeren Vibrationsgeräten funktioniert

▪ Effektiver Isolationsbereich von 0,6 Hz bis 150 Hz

▪ Vielfältige Anerkennung und Anerkennung durch viele Nutzer

▪ 6-Richtige Freiheitsgrad-harte Montage ohne Luftfederung

▪ Leistungsstarkes Steuersystem ohne regelmäßige Neukalibrierung

▪ Point-of-Use-Design, nahtlos kompatibel mit bestehenden Schwingungssystemen des Kunden

▪ Wenn sich die äußere Umgebung ändert, passt sich das System automatisch an verschiedene äußere Vibrationssituationen an

▪ STACIS von TMC ® Technologie zur aktiven Dämpfung mit piezoelektrischen Aktoren

▪ Digitale Controller und PC-basierte grafische Benutzeroberfläche (GUI)

▪ Verbesserung der Produktion, Qualität und Fertigstellungsrate der Kunden.

▪ Konformität mit RoHS

▪ ** Breite aktive Isolationsbandbreite, niedrige Isolationseffekte**

▪ Aktive Abseitung von Schwingungen durch Yachts**, hauptsächlich im 0,6-6Hz-Band

▪ Stapelbares Design

▪ Aktive harte Montagekonstruktion statt weicher Suspension, kein niedriges Frequenzbetrieb, aktive Komponenten mit starren Federn verbunden

▪ Die passive Feder filtriert die Lastresonanz des STACIS-Sensors und erfordert sehr wenig und gar keine Abstimmung.

▪ Kompatibel mit den inneren Isolatoren des Instruments, da die Impedanz nicht übereinstimmt

▪ Belastung bis zu 2000 kg

▪ Aktive Isolationssysteme auf dem Markt**

Leistung der aktiven Isolationsplattform

Testen einer Nutzlast von 4.500 Pfund (2.045 kg) mit analogen Vibrationen mit VC-C (500 μin/s, 12,5 μm/s RMS)

Spezifikationen der aktiven Isolationsplattform

Leistungsspezifikationen

STACIS Benutzer und Anwendungsbereiche

1. Mikroelektronik, Halbleiter

▪ Chip-Detektion

▪ Mikrooptische Technik

▪ Maskenkalibrierung

Wissenschaftliche Forschung, Nanotechnologie

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3. Der Laser

▪ Biowissenschaften, Medikamentenentwicklung

4. Industrielle Anwendungen

▪ Präzisionsbearbeitung

Warum wählen Sie ein aktives Isolationssystem?

▪ Bodenschwingungen ab <1Hz werden stark eliminiert und die pneumatische Plattform kann bei dieser niedrigen Frequenz keine wirksame Isolation leisten.

▪ Steigerung der Qualität und Produktivität

▪ Bildgebungsfähigkeit mit kleineren Merkmalen

▪ Spitzenforschung

▪ Stabiler als pneumatische Plattformen

▪ ** Lösung, die die SEM-Standard-Standortparameter erfüllt

▪ Kosten für neue Labor- und Forschungsanlagen senken

Warum aktiv isolierte Schwingungssysteme STACIS wählen

▪ Genau im Herzen der Wissenschaftler, um eine möglichst schockungsfreie Umgebung zu bieten.

▪ ** Leistungsstarkes niederfrequentes Isolationssystem auf dem Markt.

▪ Derzeit haben alle SEM-Hersteller die Anforderungen an die Installationsparameter veröffentlicht, und die erforderlichen Schwingungsparameter erfüllen ein aktives Schwingungsisolierungssystem.

▪ STACIS** wurde in den 1990er Jahren von TMC entwickelt, entwickelt und installiert, um Tausende von aktiven Isolationssystemen als zuverlässige Lösung für die aktive Isolationsregelung anzubieten.

STACIS ist hundertmal stärker als pneumatische Isolatoren

Die Stabilitätszeit als Reaktion auf Störungen, die aufgrund des einzigartigen seriellen Designs erheblich verkürzt wird, ist ideal für die Maschinenbau, bei dynamischen Belastungen, bei Lasern oder bei unabhängigen, steifen Tischen, bei denen eine Lichtquelle installiert werden muss.

Folgende Vorteile sind in der Branche **

▪ STACIS aktiv isolierte Bandbreite von 0,6 Hz bis 150 Hz

▪ Aktive Vibrationsbeseitigung mit 6 Freiheitsgraden, Vibrationsabstand von 8-10dB bei 1Hz

▪ Bis zu 90% (20dB) Isolierung bei 2-3Hz

Professionelle Umweltforschung

Umweltprüfung vor und nach der Installation, einschließlich Vibrationen, Magnetfelder und Schallwellen

2. Nach der Installation kann das Umweltsystem zertifiziert werden

▪ Kompletter Umweltforschungsdienst

▪ Erstellung professioneller Umweltberichte

▪ Ermittlung und Lösungen für Vibrationen, Magnetfelder und Schallwellen

▪ TMC empfiehlt Anwendern auf Grundlage ihrer umfangreichen Erfahrung praktische Lösungen

▪ Mehr als 40 Jahre Erfahrung in der Branche **

Fotos anwenden